[发明专利]紫外透明的链烷与在真空中使用它们的方法以及深紫外应用无效
申请号: | 200580017907.8 | 申请日: | 2005-06-01 |
公开(公告)号: | CN1981242A | 公开(公告)日: | 2007-06-13 |
发明(设计)人: | R·H·弗伦奇;S·彭;R·C·惠兰 | 申请(专利权)人: | 纳幕尔杜邦公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 刘维升;李连涛 |
地址: | 美国特*** | 国省代码: | 美国;US |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明涉及链烷的用途,该链烷在半导体晶片和器件,以及浸没式光刻法的光学耦合剂、光学胶合剂、光学元件、光学检测介质中,在紫外波长约170-260nm的范围内,特别在193和248nm照射波长是高度透明的。 | ||
搜索关键词: | 紫外 透明 空中 使用 它们 方法 以及 深紫 应用 | ||
【主权项】:
1.一种组合物,它基本上由液体链烷组成,该液体链烷的氧浓度小于2ppm,在193nm波长的吸收率是1cm-1或1cm-1以下。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于纳幕尔杜邦公司,未经纳幕尔杜邦公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/200580017907.8/,转载请声明来源钻瓜专利网。