[发明专利]六氟化硫的气体回收

摘要

一种用于从潜在受污染气体源回收可再次使用品级的六氟化硫(SF₆)的系统和方法。所述系统包括连接到潜在受污染气体源的提取容器(10)。第一低温装置(15)使提取容器的温度降低到低于SF₆的相变温度，引起压差，从而使潜在受污染气体进入提取容器(10)。SF₆在提取容器(10)中转变为液体和/或固体形式。未冷凝污染气体从提取容器(10)排空。回收容器(22)连接至提取容器。第二低温装置(25)用于降低回收容器(22)的温度。升高提取容器(10)的温度产生压差，从而使可再次使用品级的SF₆进入回收容器(22)。

主权项

1.一种用于从包括六氟化硫的潜在受污染气体源回收可再次使用品级的六氟化硫的系统，所述系统包括：至少一个提取容器，其包括气体进口和气体出口，所述气体进口适合连接所述潜在受污染气体源；第一低温装置，用于将所述至少一个提取容器的温度降低到低于六氟化硫气体的相变温度，其中在所述低温降低的温度下，所述至少一个提取容器中的压力小于潜在受污染气体源的压力，由此使所述潜在受污染气体经所述气体进口进入所述至少一个提取容器，包含在所述潜在受污染气体中的六氟化硫在所述至少一个提取容器中变成液体和/或固体形式；排空装置，用于将所有未冷凝污染物气体从所述至少一个提取容器中经所述气体出口排空，同时所述至少一个提取容器处于所述低温降低的温度下；使所述至少一个提取容器的温度升高的装置，用于在排空所述未冷凝气体之后，使所述至少一个提取容器的温度从所述低温降低的温度基本升高到露点温度，其中在所述露点温度下，可再次使用品级的六氟化硫气体存在于所述至少一个提取容器中并且所有可冷凝污染物为液体和/或固体形式，其中温度基本升高至露点温度使得所述至少一个提取容器中的压力升高；至少一个回收容器，包括适合连接所述至少一个提取容器的所述气体出口的气体进口；和第二低温装置，用于使所述至少一个回收容器的温度降低到低于六氟化硫相变温度，其中在所述低温降低的温度下，所述至少一个回收容器中的压力小于当基本处于所述露点温度下时所述至少一个提取容器中的压力，其中所述至少一个回收容器的气体进口和所述至少一个提取容器的气体出口的连接允许所述可再次使用品级的六氟化硫进入所述至少一个回收容器。