[发明专利]树脂层形成方法及树脂层形成装置、盘及盘的制造方法有效
| 申请号： | 200580017981.X | 申请日： | 2005-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN101027138A | 公开（公告）日： | 2007-08-29 |
| 发明（设计）人： | 伊藤朋和;西垣寿;川上司;成田悠;龙泽洋次;花田拓实;石见宗宪 | 申请（专利权）人： | 芝浦机械电子装置股份有限公司 |
| 主分类号： | B05D1/40 | 分类号： | B05D1/40;B05C9/08;B05C11/08;G11B7/24;G11B7/26 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 何腾云 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供可用简单的顺序、使贴合前的基板上或已涂敷的基板上的树脂层均匀化的树脂层形成方法及树脂层形成装置、以及盘及盘的制造方法。一边使基板(P)低速旋转，一边在内周侧涂敷粘接剂(A)，通过使基板(P)高速旋转，在基板(P)的表面形成第一粘接剂层(AL1)，对第一粘接剂层(AL1)的内周侧照射紫外线、使其硬化，这样，在基板(P)的旋转中心周围形成台阶部(H)，在台阶部(H)的基板(P)的旋转中心侧，涂敷粘接剂(A)，使基板(P)高速旋转，以此在第一粘接剂层(AL1)上形成第二粘接剂层(AL2)。第一粘接剂层(AL1)和第二粘接剂层(AL2)一体化，整体作为均匀的粘接层(B)。 | ||
| 搜索关键词： | 树脂 形成 方法 装置 制造 | ||
【主权项】：
1.一种树脂层形成方法，在基板的表面形成树脂层，其特征在于，在上述基板的表面形成调整树脂的延展的调整部；在上述基板的上述调整部的内侧或上述调整部上，涂敷树脂，使上述基板旋转。
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