[发明专利]InP基板上的Ⅱ-Ⅵ/Ⅲ-Ⅴ多层结构有效

专利信息
申请号: 200580018674.3 申请日: 2005-04-29
公开(公告)号: CN1965452A 公开(公告)日: 2007-05-16
发明(设计)人: 孙晓光;托马斯·J·米勒;迈克尔·A·哈斯 申请(专利权)人: 3M创新有限公司
主分类号: H01S5/183 分类号: H01S5/183;H01L31/0248;H01L33/00
代理公司: 中原信达知识产权代理有限责任公司 代理人: 梁晓广;陆锦华
地址: 美国明*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 提供一种包括InP基板和II-VI及III-V材料交替层的多层结构。一般地,II-VI及III-V材料交替层与InP基板晶格匹配或者假同晶。一般地,II-VI材料选自ZnSe、CdSe、BeSe、MgSe、ZnTe、CdTe、BeTe、MgTe、ZnS、CdS、BeS、MgS和它们的合金,更一般地,选自CdZnSe、CdMgZnSe、BeZnTe和BeMgZnTe合金,最一般选自CdxZn1-xSe,其中x在0.44和0.54之间。一般地,III-V族材料选自InAs、AlAs、GaAs、InP、AlP、GaP、InSb、AlSb、GaSb和它们的合金,更一般地选自InP、InAlAs、GaInAs、AlInGaAs和GaInAsP合金,最一般地选自InP或InyAl1-yAs,其中y在0.44和0.52之间。在一个实施方案中,该多层结构形成一个或多个分布布喇格反射镜(DBR)。另一方面,本发明提供一种含有InP基板和分布布喇格反射镜(DBR)的多层结构,该分布布喇格反射镜具有95%或更高的反射率并至多包括15对外延半导体材料涂层。另一方面,本发明提供一种含有本发明所述多层结构的激光器。另一方面,本发明提供一种含有本发明所述多层结构的光电探测器。
搜索关键词: inp 基板上 多层 结构
【主权项】:
1.一种多层结构,其包括:InP基板;以及II-VI和III-V材料的交替层。
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