[发明专利]单件线圈支撑组件，线圈结构和装配线圈结构的方法无效
| 申请号： | 200580018764.2 | 申请日： | 2005-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN101001974A | 公开（公告）日： | 2007-07-18 |
| 发明（设计）人： | L·霍;J·D·米泽;R·M·普拉特;D·K·陈;G·阿马多尔;P·J·康 | 申请（专利权）人： | 霍尼韦尔国际公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/04 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 肖春京 |
| 地址： | 美国新*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明包括线圈支撑组件(130)，具有与布置在处理室之内的护罩(22)的表面相接合的绝缘体(132)。该绝缘体(132)具有延伸穿过护罩(22)的伸出部。第二绝缘体(131)布置在护罩(22)和线圈(26)之间并且与从线圈伸出的突起(40)相接触。紧固件(134)布置穿过第一绝缘体(132)并且延伸穿过第二绝缘体(131)并进入突起(40)。紧固件(134)通过第一绝缘体(132)而与护罩(22)电绝缘。本发明包括容纳所述线圈支撑构造的线圈组件。本发明还包括在其中布置有护罩的处理室之内支撑感应线圈的方法。插入绝缘体从护罩外侧伸出穿过护罩的厚度。通过插入紧固件在室内安装线圈，本发明包括线圈支撑组件，其具有与布置在室之内的护罩的表面相接合的绝缘体。该绝缘体具有延伸穿过护罩的伸出部。第二绝缘体布置在护罩和线圈之间，并且接触从线圈伸出的突起。紧固件布置穿过第一绝缘体并延伸穿过第二绝缘体并进入突起。紧固件通过第一绝缘体与护罩电绝缘。本发明包括容纳所述线圈支撑构造的线圈组件。本发明还包括在其中布置有护罩的处理室之内支撑感应线圈的方法。插入绝缘体从护罩外侧伸出穿过护罩的厚度。通过插入紧固件穿过各个绝缘体进入从线圈主体向外伸出的凸起部，将线圈安装在室内。 | ||
| 搜索关键词： | 线圈 支撑 组件 结构 装配 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于在物理汽相沉积系统中使用的线圈结构，包括：具有内周和相反外周的环形线圈主体；多个从环形线圈主体外周伸出的导电的凸起部；围绕着环形线圈的护罩，该护罩具有面对环形线圈的第一侧和相反的第二侧，该第一和第二侧被护罩厚度分隔开；以及多个支撑组件，各个支撑组件布置在护罩和环形线圈附近，并且与一个导电凸起部相关，各个支撑组件包括：跨过护罩厚度的第一绝缘体；以及接触第一绝缘体并且接触相关导电凸起部的第二绝缘体。
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