[发明专利]线性马达及使用该线性马达的载物台装置无效
申请号: | 200580018957.8 | 申请日: | 2005-06-29 |
公开(公告)号: | CN1965459A | 公开(公告)日: | 2007-05-16 |
发明(设计)人: | 筱平大辅;臼井道太郎 | 申请(专利权)人: | 住友重机械工业株式会社 |
主分类号: | H02K41/02 | 分类号: | H02K41/02;H01L21/027;H02K9/22;H02K41/03 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人: | 黄剑锋 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种线性马达及使用该线性马达的载物台装置。线性马达(20)的线圈部(60)具有由冷却板(53)和散热部(55)构成的线圈冷却部(57)。在该线圈部(60)中,通过做成了安装于线圈(66)的侧面的热导管构造的冷却板(53)冷却,将来自冷却板(53)的热通过散热部(55)散热。由此,能够抑制各线圈(66)的温度上升,所以抑制了伴随着发热的各线圈(66)的电阻增大。 | ||
搜索关键词: | 线性 马达 使用 载物台 装置 | ||
【主权项】:
1、一种线性马达,具有并列设置了多个线圈的线圈部、将多个永久磁铁与上述线圈列对置地并列设置的磁轭部、以及将上述线圈部冷却的线圈冷却部,其特征在于,上述线圈冷却部具备:冷却板,具有形成为将上述线圈部的热向外部散逸的热传导元件;散热部,与该冷却板连接,将来自上述热传导元件的热向外部散热。
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