[发明专利]微机械与纳机械器件中的金属薄膜压阻传感及其在自感测SPM探针中的应用无效
| 申请号： | 200580019147.4 | 申请日： | 2005-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN101072986A | 公开（公告）日： | 2007-11-14 |
| 发明（设计）人： | 唐红星;李墨;M·L·鲁克斯 | 申请（专利权）人： | 加州理工学院 |
| 主分类号： | G01L1/18 | 分类号： | G01L1/18 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 曾祥夌;魏军 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 将薄金属膜用作微机电系统和纳机电系统中的压阻自感测元件。公开了该薄金属膜在AFM探针中的具体应用。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 机械 器件 中的 金属 薄膜 传感 及其 自感 spm 探针 应用 | ||
【主权项】：
1.一种微机械或纳机械器件，包括可移动元件和用于对所述可移动元件的移动进行压阻感测的金属膜。
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