[发明专利]用脉冲激光辐射加工工件的激光源和方法无效
| 申请号： | 200580019249.6 | 申请日： | 2005-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN1969433A | 公开（公告）日： | 2007-05-23 |
| 发明（设计）人： | 汉斯·J·梅尔;乌韦·梅特卡 | 申请（专利权）人： | 日立比亚机械股份有限公司 |
| 主分类号： | H01S3/106 | 分类号： | H01S3/106;B23K26/36 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 康建忠 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供了一种包括激光谐振器的激光源(110)，激光谐振器的长度可以用光束切换单元(113)改变，使得所发射的激光辐射的脉冲持续时间可以根据相应设置的谐振器长度调整。光束切换单元(113)可以用机械式反光镜系统(213)实现。光束切换单元(113)还可以用光电或声光调制器实现，使得光束切换可以很快执行。这使得谐振器长度的切换甚至在高脉冲重复频率的情况下也可以在两个连续的激光脉冲之间完成。此外，本发明还提供了一种用脉冲激光辐射加工工件(150)的方法，激光束用偏转单元(130)二维偏转后通过成像光学系统(140)投射到工件(150)上。特别是，激光脉冲的脉冲持续时间通过选择在激光谐振器内的光径调整成可以保证对材料的最佳烧蚀。 | ||
| 搜索关键词： | 脉冲 激光 辐射 加工 工件 方法 | ||
【主权项】：
1.一种激光源，特别是用于用脉冲激光辐射对电子电路载体钻孔和/或构造电子电路载体的激光加工设备的激光源，所述激光源包括·包括部分反射的输出镜(112)和端镜(114a，114b，114c)的激光谐振器，·配置在所述激光谐振器内的有效激光媒质(111)，以及·也配置在所述激光谐振器内的光束切换单元(113)，其中所述光束切换单元(113)和所述激光谐振器被设置，使得在所述激光谐振器内所引导的激光束可以在第一光径(115a)和第二光径(115b)之间转接，与所述第一光径(115a)相比所述第二光径(115b)的长度不同。
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