[发明专利]薄膜形成用原料和薄膜的制造方法有效
| 申请号： | 200580019520.6 | 申请日： | 2005-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN100582297C | 公开（公告）日： | 2007-06-13 |
| 发明（设计）人： | 山田直树;田中伸一 | 申请（专利权）人： | 株式会社艾迪科 |
| 主分类号： | C23C16/40 | 分类号： | C23C16/40;C07C49/92;C07F3/06 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 陈建全 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的薄膜形成用原料是在25℃下是液体的双(β-二酮基)锌化合物，适用于形成含锌薄膜，通过使用该薄膜形成用原料，原料气体供应性或在流水线上的原料输送没有问题，能以稳定的成膜速度或薄膜组成控制进行薄膜制造。作为优选的(β-二酮基)锌化合物，可以列举出例如双(辛烷-2，4-二酮基)锌、双(2，2-二甲基-6-乙基癸烷-3，5-二酮基)锌。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 形成 原料 制造 方法 | ||
【主权项】：
1、一种薄膜形成用原料，其含有在25℃下是液体的双(β-二酮基)锌化合物而形成，所述双(β-二酮基)锌化合物在25℃下的粘度为2000mPa·s以下。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
