[发明专利]用于测量依赖于时间的电介质击穿的系统和方法

摘要

公开了根据一个实施例的集成电路，其包括耦合到第一环形振荡器模块的第一受测器件(DUT)模块和耦合到第二环形振荡器模块的第二DUT模块。在第一模式期间对第一DUT的电介质层施加应力，从而在第一电介质层中引起依赖于时间的电介质击穿。维持第二DUT的电介质层作为参考。在第二模式期间，第一环形振荡器模块的操作频率是受到应力的电介质层的栅极漏电流的函数。在第二模式期间，第二环形振荡器模块的操作频率是参考电介质层的栅极漏电流的函数。该集成电路还可以包括比较器模块，其用于根据第一环形振荡器模块的操作频率与第二环形振荡器模块的操作频率之间的差值生成输出信号。

主权项

一种集成电路，包括：第一受测器件模块，其中在第一模式期间对第一电介质层施加应力，引起依赖于时间的电介质击穿；第二受测器件模块，其中在所述第一模式期间，维持第二电介质层作为参考；第一环形振荡器模块，其耦合到所述第一受测器件模块并且用于在第二模式期间生成第一振荡器信号，其中所述第一振荡器信号的操作频率是包括所述第一电介质层的第一结构的栅极漏电流的函数；以及第二环形振荡器模块，其耦合到所述第二受测器件模块并且用于在所述第二模式期间生成第二振荡器信号，其中所述第二振荡器信号的操作频率是包括所述第二电介质层的第二结构的栅极漏电流的函数；以及比较器模块，其耦合到所述第一环形振荡器模块和所述第二环形振荡器模块，并且用于根据所述第一振荡器信号的所述操作频率与所述第二振荡器信号的所述操作频率之间的差值生成输出信号。