[发明专利]反射镜器件、反射镜阵列、光开关及其制造方法有效
| 申请号： | 200580019625.1 | 申请日： | 2005-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN1969217A | 公开（公告）日： | 2007-05-23 |
| 发明（设计）人： | 下川房男;内山真吾;山口城治;佐藤诚;笹仓久仁彦;森田博文;稻垣秀一郎;町田克之;石井仁 | 申请（专利权）人： | 日本电信电话株式会社 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;B81B3/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 王波波 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种反射镜器件，包括：被支撑成可相对于反射镜基板(151)转动的反射镜(153)；被形成在面对该反射镜基板(151)的电极基板(101)上的驱动电极(103－1至103－4)；以及被布置在该反射镜(153)和电极基板(101)之间的间隙中的抗静电结构(106)。该结构能够通过向抗静电结构(106)施加第二电势，来固定该反射镜(153)下表面的电势，并抑制该反射镜(153)的漂移。 | ||
| 搜索关键词： | 反射 器件 阵列 开关 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种反射镜器件，其特征在于，包括：被支撑成能够相对于反射镜基板转动的反射镜；被形成在面对所述反射镜基板的电极基板上的驱动电极；以及被布置在所述反射镜和所述电极基板之间的间隙中的抗静电结构。
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