[发明专利]压力传感器有效
| 申请号： | 200580019682.X | 申请日： | 2005-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN1969173A | 公开（公告）日： | 2007-05-23 |
| 发明（设计）人： | 关根正志;原田英史 | 申请（专利权）人： | 株式会社山武 |
| 主分类号： | G01L19/00 | 分类号： | G01L19/00 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种压力传感器(1)，该压力传感器(1)具有：检测压力的传感器芯片(30)；支承传感器芯片(30)的底座板(20(21、22))；以及接合在底座板(20(21、22))上，支承该底座板(20(21、22))的支承隔膜(50)，并且具有以下结构，即：支承隔膜(50)接合在壳体(10)上，仅通过该支承隔膜(50)将传感器芯片(30)、底座板(20(21、22))支承在壳体内，由此提供可以始终进行高精度的压力检测、而且不会受到因来自外部的热量而造成的热应力影响的压力传感器。 | ||
| 搜索关键词： | 压力传感器 | ||
【主权项】：
1.一种压力传感器，其特征在于，该压力传感器具有：检测压力的传感器芯片；支承所述传感器芯片的底座板；以及接合在所述底座板上，支承该底座板的支承隔膜，所述支承隔膜的一部分接合在壳体上，仅通过该支承隔膜将所述传感器芯片、底座板支承在壳体内。
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