[发明专利]具有多层位置的离散控制微镜无效
申请号: | 200580019972.4 | 申请日: | 2005-06-15 |
公开(公告)号: | CN1969216A | 公开(公告)日: | 2007-05-23 |
发明(设计)人: | 徐清洙;金东佑;赵京一;金泰县 | 申请(专利权)人: | 立体播放有限公司;埃斯壮有限公司 |
主分类号: | G02B26/00 | 分类号: | G02B26/00 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 余刚 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明提供两种离散控制微镜(DCM),其可克服传统静电微镜的缺点。第一种微镜是可变支架离散控制微镜(VSDCM),其位移范围比传统静电微镜更大。该VSDCM的位移准确度优于传统静电微镜,且其低驱动电压与IC部件兼容。第二种DCM是分段电极离散控制微镜(SEDCM),其具有与传统静电微镜相同的缺点。但是SEDCM与已知微电子技术兼容。 | ||
搜索关键词: | 具有 多层 位置 离散 控制 | ||
【主权项】:
1.一种离散控制微镜(DCM),其包括:(1)微镜;以及(2)多个可变支架,其上安置所述微镜;其中所述可变支架确定所述微镜的所述位置。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于立体播放有限公司;埃斯壮有限公司,未经立体播放有限公司;埃斯壮有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/200580019972.4/,转载请声明来源钻瓜专利网。