[发明专利]具有多层位置的离散控制微镜无效

专利信息
申请号: 200580019972.4 申请日: 2005-06-15
公开(公告)号: CN1969216A 公开(公告)日: 2007-05-23
发明(设计)人: 徐清洙;金东佑;赵京一;金泰县 申请(专利权)人: 立体播放有限公司;埃斯壮有限公司
主分类号: G02B26/00 分类号: G02B26/00
代理公司: 北京康信知识产权代理有限责任公司 代理人: 余刚
地址: 美国加利*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 发明提供两种离散控制微镜(DCM),其可克服传统静电微镜的缺点。第一种微镜是可变支架离散控制微镜(VSDCM),其位移范围比传统静电微镜更大。该VSDCM的位移准确度优于传统静电微镜,且其低驱动电压与IC部件兼容。第二种DCM是分段电极离散控制微镜(SEDCM),其具有与传统静电微镜相同的缺点。但是SEDCM与已知微电子技术兼容。
搜索关键词: 具有 多层 位置 离散 控制
【主权项】:
1.一种离散控制微镜(DCM),其包括:(1)微镜;以及(2)多个可变支架,其上安置所述微镜;其中所述可变支架确定所述微镜的所述位置。
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