[发明专利]衍射光学元件及采用它的光学低通滤波器

摘要

本发明涉及具有2维地多值化的微细周期构造的可作为光束分割元件和光学低通滤波器等使用的衍射光学元件(10)，其中，透明基板表面在正交的2个方向上整列地分割成同一形状的微细长方形区域，多个行在任1个方向上将行端对齐地进行排列，对垂直入射透明基板表面的基准波长光，奇数序号的行中的奇数序号的长方形区域(31)赋予相位2pπ，偶数序号的长方形区域(33)赋予相位{(4q+1)π/2+δπ/2}，偶数序号的行中的奇数序号的长方形区域(34)赋予相位{(4r+3)π/2+3δπ/2}，偶数序号的长方形区域(32)赋予相位{(4s+2)π/2+δπ}(其中，－0.25≤δ≤0.25，p、q、r、s：整数)。

主权项

1.一种衍射光学元件，其特征在于，透明基板表面在正交的2个方向上整列地分割成同一形状的微细长方形区域，多个行在任1个方向上将行端对齐地进行排列，对垂直入射透明基板表面的基准波长光，奇数序号的行中的奇数序号的长方形区域赋予相位2pπ，偶数序号的长方形区域赋予相位{(4q+1)π/2+δπ/2}，偶数序号的行中的奇数序号的长方形区域赋予相位{(4r+3)π/2+3δπ/2}，偶数序号的长方形区域赋予相位{(4s+2)π/2+δπ}(其中，-0.25≤δ≤0.25，p、q、r、s：整数)。