[发明专利]石英传感器系统以及它的生产方法有效
| 申请号： | 200580020404.6 | 申请日： | 2005-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN1973193A | 公开（公告）日： | 2007-05-30 |
| 发明（设计）人： | J·D·库克;B·J·马什;J·Z·刘;B·D·斯佩尔德里奇;I·帕夫莱斯库;V·布伊库莱斯库;C·P·科比亚努 | 申请（专利权）人： | 霍尼韦尔国际公司 |
| 主分类号： | G01L9/00 | 分类号： | G01L9/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 龚海军;张志醒 |
| 地址： | 美国新*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明公开了一种石英传感器方法和系统，其中，可以机械地仿真多个SAW检测谐振器，以便在石英晶片基底上实现。此后，可以适当地蚀刻石英晶片基底，用来从石英晶片基底中生产石英膜片。然后，多个SAW检测谐振器(例如，压力，参考和/或温度SAW谐振器)可以定位在石英晶片基底上，其基于为了在基底上实现而先前机械仿真，从而从石英晶片基底中生产石英传感器封装。 | ||
| 搜索关键词： | 石英 传感器 系统 以及 生产 方法 | ||
【主权项】：
1、一种石英传感器方法，包含以下步骤：机械地仿真多个SAW检测谐振器，以便在石英晶片基底上实现；蚀刻所述石英晶片基底，从而从所述石英晶片基底中生产多个石英压力检测膜片；以及在所述石英晶片基底上定位多个SAW检测谐振器，其基于为了在所述基底上实现而机械地仿真的所述多个SAW检测谐振器，从而从所述石英晶片基底中生产石英传感器封装。
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