[发明专利]刻度尺读取设备有效
| 申请号： | 200580020409.9 | 申请日： | 2005-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN1973185A | 公开（公告）日： | 2007-05-30 |
| 发明（设计）人： | 戴维·罗伯茨·姆克莫特瑞;詹姆斯·雷诺兹·亨肖 | 申请（专利权）人： | 瑞尼斯豪公司 |
| 主分类号： | G01D5/36 | 分类号： | G01D5/36;G01D5/38 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 陆锦华;穆德骏 |
| 地址： | 英国格*** | 国省代码： | 英国;GB |
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| 摘要： | 一种用于测量两个部件之间位移的设备。刻度尺提供在一个部件上，并且具有递增式图案，且带有至少一个嵌入于其中的参考标记。读取头提供在另一个部件上，并且包括：周期性衍射装置，用于同刻度尺上的递增式图案所调制的光图案相互作用的，以产生干涉条纹，该干涉条纹响应于所述位移而相对于所述读取头移动；第一检测装置，用于检测干涉条纹的移动；成像装置，用于使参考标记成像；以及，第二检测装置，用于检测参考标记的图像。 | ||
| 搜索关键词： | 刻度尺 读取 设备 | ||
【主权项】：
1.一种用于测量两个部件之间位移的设备，包括：刻度尺，其位于具有周期性刻度尺标记的部件中的一个上，该周期性刻度尺标记形成了递增式图案，并且至少一个参考标记嵌入在递增式图案中；读取头，其提供在另一个部件上；周期性衍射装置，其提供在读取头中，用于同刻度尺上的递增式图案所调制的光图案相互作用，以产生干涉条纹，该干涉条纹响应于所述位移而相对于所述读取头移动；第一检测装置，用于检测所述干涉条纹的所述移动；成像装置，其提供在读取头中，用于使参考标记成像；第二检测装置，用于检测参考标记的所述图像；其中成像装置被安置在刻度尺和第二检测装置之间。
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