[发明专利]长波长VCSEL的隧道结无效

专利信息
申请号: 200580020520.8 申请日: 2005-05-17
公开(公告)号: CN1973378A 公开(公告)日: 2007-05-30
发明(设计)人: R·巴特;西山信彦 申请(专利权)人: 康宁股份有限公司
主分类号: H01L29/88 分类号: H01L29/88
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 代理人: 刘佳
地址: 美国*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 具有最小受体氢钝化的隧道结器件(102)包括碳掺杂的第一半导体材料的p-型隧道结层(106)。该第一半导体材料包括铝、镓、砷、和锑。第二半导体材料的n-型隧道结层(104)包括铟、镓、砷、以及铝和磷之一。p-型和n-型隧道结层之间的结形成隧道结(110)。
搜索关键词: 波长 vcsel 隧道
【主权项】:
1.一种具有最小受体氢钝化的隧道结器件,包括:碳掺杂的第一半导体材料的p-型隧道结层,其中所述第一半导体材料包括铝(Al)、镓(Ga)、砷(As)和锑(Sb);以及第二半导体材料的n-型隧道结层,其中所述第二半导体材料包括铟(In)、镓(Ga)、砷(As)以及铝(Al)和磷(P)之一;以及所述隧道结层之间的隧道结。
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