[发明专利]用于低源漏电容的高频晶体管布局有效
申请号: | 200580020829.7 | 申请日: | 2005-06-22 |
公开(公告)号: | CN1973377A | 公开(公告)日: | 2007-05-30 |
发明(设计)人: | L·F·蒂梅杰 | 申请(专利权)人: | 皇家飞利浦电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L29/78 | 分类号: | H01L29/78;H01L23/482;H01L29/417 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 王庆海;张志醒 |
地址: | 荷兰艾*** | 国省代码: | 荷兰;NL |
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摘要: | 一种RF场效应晶体管具有栅电极、以及梳状的漏和源电极,布置该梳状的漏的指以与源电极的指交叉,该源和漏电极具有多层(110、120、130、140)。交叉量在每个层中可以不同,以能够最优化,尤其是对于低寄生电容,而没有失去由多层提供的低电流密度的所有优点。对于远离栅电极的层通过具有较短指来减小交叉。交叉的减小可以优选的,对于最小电容是通过交叉的陡峭减小、或源和漏的指中的最小横向电流密度是通过交叉的更逐渐减小。这能够在较高温度或在较高输入偏置电流的情况中实现操作,同时仍满足电迁移规则的需求。 | ||
搜索关键词: | 用于 漏电 高频 晶体管 布局 | ||
【主权项】:
1.一种场效应晶体管,其具有栅电极(100)以及梳状的漏和源电极,该梳状的漏的指被布置成与源电极的指交叉,该源和漏电极具有多层(110、120、130、140),交叉量在该多层的不同层中不同。
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