[发明专利]真空泵

摘要

一种各别地抽吸的质谱仪系统，包括具有多个压力腔室的质谱仪，在使用期间离子通过该压力腔室沿着通道进行输送。用于各别地对该腔室(62，66，68)抽真空的泵组件(10)联接于该质谱仪。该泵组件包括联接于该质谱仪的壳体(12)和插入该壳体的筒体(14)。该筒体具有多个入口(16，18，20)和抽吸机构(30，32，34)，该各个入口用于接收来自各自的压力腔室(62，68，66)的流体，该抽吸机构用于各别地抽吸来自该腔室的流体。该筒体插入该壳体内以便该抽吸机构(10)相对于该离子通道(76)倾斜，但该筒体伸入该质谱仪的程度可以使得至少一个入口(16，18)至少部分地伸入其各自的腔室(62，68)内，而不越过该离子通道。

主权项

1.一种系统，包括多个压力腔室和用于各别地对所述腔室抽真空的真空泵，所述泵包括多个入口和抽吸机构，所述各个入口用于接收来自各自的压力腔室的流体，所述抽吸机构用于各别地抽吸来自腔室的流体，其中，所述泵通过开口伸入所述腔室内以便至少一个流体入口至少部分地位于其各自的压力腔室内，且泵的纵轴线倾斜于所述开口的嘴部的平面。