[发明专利]探针卡有效
| 申请号： | 200580021674.9 | 申请日： | 2005-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN1977172A | 公开（公告）日： | 2007-06-06 |
| 发明（设计）人： | 雨宫贵;保坂久富;米沢俊裕;塚田秀一 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 柳春雷 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的目的在于，即使在探针卡的接触器与探测装置内的被检体之间的平行被破坏时也能够将两者调整为平行状态并进行高可靠性的检测。本发明的探针卡通过固定件而被安装在探测装置上，该探针卡包括：接触器；电路基板，与该接触器电连接；加强部件，对该电路基板进行加强；以及平行调整机构，对所述接触器与配置在所述探测装置内的被检体之间的平行度进行调整。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 | ||
【主权项】：
1.一种探针卡，通过固定件而被安装在探测装置上，其特征在于，包括：接触器；电路基板，与所述接触器电连接；加强部件，对所述电路基板进行加强；以及平行调整机构，对所述接触器和配置在所述探测装置内的被检体之间的平行度进行调整。
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