[发明专利]用于给腔室加载分离开的固体的设备和方法

摘要

本发明涉及一种装置，用于将固体颗粒均匀加载到一腔室中，所述装置包括在其上部的颗粒供给装置(1)，以及在其设置于所述待加载腔室中的底部的散布系统(8)，所述散布系统与通过驱动装置(4)围绕一基本垂直轴线旋转的一中心轴(3)相连，以及至少部分地围绕所述中心轴的一进给管线(2)，所述装置的特征在于，所述中心轴(3)是具有足够的内径的管，用以在待加载区域通过所述管并且在加载周期期间，实现多个与所述加载操作的相关的或相辅的操作，并且其特征在于，与所述进给管线(2)相连的一固定管(6)设置在所述旋转管(3)内部，所述固定管(6)和旋转管(3)基本同轴。

主权项

1.加载设备，其用于将所述固体颗粒均匀加载到一腔室中，所述加载设备在其上部包括一颗粒供给装置(1)，且在其位于所述待加载腔室内的底部处包括：一散布系统(8)，其与一中心轴(3)相连，所述中心轴(3)通过一驱动装置(4)被驱动围绕一基本垂直的轴线旋转；以及一进给管线(2)，其至少部分地围绕所述中心轴；所述加载设备的特征在于：所述中心轴(3)是一管体，所述管体具有足够的内径，用以通过所述管体、并且在加载周期期间，在待加载区域实现一定数量的、与所述加载操作的相关的或相辅的操作；并且与所述进给管线(2)相连的一固定管(6)设置在所述旋转管(3)内部，所述固定管(6)和旋转管(3)基本同轴。