[发明专利]具有薄膜晶体管的干涉式调制器有效
| 申请号： | 200580021873.X | 申请日： | 2005-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN1977206A | 公开（公告）日： | 2007-06-06 |
| 发明（设计）人： | 克拉伦斯·徐;斯蒂芬·奇 | 申请（专利权）人： | IDC公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;G02B26/00;G01J3/26 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 王允方;刘国伟 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明揭示一种调制器，其具有一带有一第一表面的透明衬底。至少一个干涉式调制器元件驻留于所述第一表面上。至少一个电连接至所述元件的薄膜电路组件驻留于所述表面上。当多于一个干涉式元件驻留于所述第一表面上时，有至少一个薄膜电路组件对应于驻留于所述第一表面上的每一元件。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 薄膜晶体管 干涉 调制器 | ||
【主权项】：
1、一种制造一具有薄膜电路组件的干涉式调制器的方法，所述方法包括：在一透明衬底上制作至少一个干涉式调制器；在所述透明衬底上制作至少一个薄膜电路组件，其中所述制作包括沉积一半导体、金属、氧化物、或聚合物中的至少一者，以同时形成用于一薄膜电路组件与一干涉式调制器二者的结构。
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