[发明专利]用于产生球面像差信号误差的方法以及系统

摘要

本发明涉及一种方法和系统，其包括：－分别根据辐射束横截面的第一以及第二区域中的辐射获得第一焦点误差信号(FES_n，I)以及第二焦点误差信号(FES_n，2)的检测器，－用于从所述第一焦点误差信号(FES_n，I)中减去第二焦点误差信号(FES_n，2)来产生球面像差信号(SAES_n)的处理装置，－依据上述公式产生所述第二焦点误差信号(FES_n，2)的处理装置，其中α是参数，A₂、B₂、C₂与D₂包括从位于所述的相应的第二区域的多个辐射检测部分得到的输出信号。

主权项

1、一种系统，包括：-用于分别根据辐射束横截面的第一以及第二区域中的辐射获得第一焦点误差信号(FESn，1)以及第二焦点误差信号(FESn，2)的检测器，-用于从所述第一焦点误差信号(FESn，1)中减去第二焦点误差信号(FESn，2)来产生球面像差信号(SAESn)的处理装置，-用于依据以下公式来产生所述第二焦点误差信号(FESn，2)的处理装置：${\mathrm{FES}}_{n,2}=\alpha [\frac{A_2-B_2}{A_2+B_2}+\frac{C_2-D_2}{C_2+D_2}]$ 其中α是参数，A2、B2、C2与D2包括从位于所述第二区域的多个辐射检测部分得到的输出信号。