[发明专利]用于制造具有整体对准部件的光波导组件的方法无效
| 申请号： | 200580021993.X | 申请日： | 2005-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN1977198A | 公开（公告）日： | 2007-06-06 |
| 发明（设计）人： | 特里·L·史密斯;张俊颖;鲁泰什·D·帕里克;杰里米·K·拉尔森 | 申请（专利权）人： | 3M创新有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/30 | 分类号： | G02B6/30;G02B6/42;G02B6/136 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 黄启行;穆德骏 |
| 地址： | 美国明*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种光波导组件(20)具有整体对准部件(22)。通过在形成对准部件之前在基板(26)上制造波导、去除波导的部分以暴露基板和在基板中形成对准部件，形成波导部件。具有整体对准部件(22)的平面型波导组件(20)通过利用蚀刻停止层(28)涂覆基板(26)来制造。在蚀刻停止层(28)中形成对准部件图案(30)。对准部件图案(30)使用光刻和蚀刻处理来制造。在蚀刻停止层(28)中制造对准部件图案(30)之后，波导(32)生长在基板(26)和具有对准部件图案(30)的蚀刻停止层(28)上。接下来波导(32)在其中预先制造对准部件图案(30)的区域中蚀刻以暴露图案(30)。执行另一蚀刻以使用预先制造的对准部件图案(30)来创建精确对准部件(22)。对准部件(22)为V形槽、U形形状、梯形或矩形槽。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制造 具有 整体 对准 部件 波导 组件 方法 | ||
【主权项】：
1.一种形成用于光学器件的具有整体对准部件的波导的方法，该方法包括：在基板上制造波导；去除该波导的部分以暴露基板；以及在暴露的基板中形成光学器件对准部件。
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