[发明专利]波导型光控制元件及其制造方法无效
| 申请号： | 200580022037.3 | 申请日： | 2005-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN1977210A | 公开（公告）日： | 2007-06-06 |
| 发明（设计）人： | 阿部能之;森宏;寺岛彰 | 申请（专利权）人： | 住友金属矿山株式会社 |
| 主分类号： | G02F1/035 | 分类号： | G02F1/035;G02F1/01 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 高龙鑫 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种波导型光控制元件，具有：光波导，其由具有电光效应或热光效应的绝缘材料构成；控制用电极，其接触或接近于光波导而被设置，并且，光波导的传播损耗在波长为1.3～1.6μm时为1dB/cm以下，其特征在于，由其载流子电子浓度为5.5×1020个/cm3以下、且电阻率在9.5×10－4Ωcm以下的导电氧化物膜构成上述控制用电极，而且导电氧化物膜对波长为1.55μm的光波的衰减系数为0.240以下。 | ||
| 搜索关键词： | 波导 控制元件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种波导型光控制元件，具有：光波导，其由具有电光效应或热光效应的绝缘材料构成；控制用电极，其接触或接近于光波导而被设置，并且，在波长为1.3～1.6μm时的上述光波导的传播损耗为1dB/cm以下，其特征在于，由载流子电子浓度为5.5×1020个/cm3以下、且电阻率为9.5×10-4Ωcm以下的导电氧化物膜构成上述控制用电极的同时，导电氧化物膜对波长为1.55μm的光波的衰减系数为0.240以下。
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