[发明专利]曝光装置

摘要

一种曝光装置，其包括：从光源(7)对滤色片基板(6)照射曝光用光的曝光光学系统(2)；与该曝光光学系统(2)相对配置的、载置并以一定速度输送所述滤色片基板(6)的输送设备(4)，将夹装在所述曝光光学系统(2)的光路上的遮光板(10)的开口部(10a)的像曝光在所述滤色片基板(6)上，其包括：摄像设备(3)，其在所述输送设备(4)的移动方向以所述曝光光学系统(2)的曝光位置的跟前侧为摄像位置，对所述滤色片基板(6)上所预先形成的黑底(11)进行摄像；控制设备(5)，其检测出经所述摄像设备(3)摄像的黑底(11)所预先设定的基准位置，以该基准位置为基准，对所述曝光光学系统(2)的曝光用光的照射时间进行控制，将所述遮光板(10)的开口部(10a)的像曝光在所述滤色片基板(6)的规定位置上。由此，提供一种采用小的遮光板高效地在宽阔的曝光区域进行曝光的曝光装置。

主权项

1.一种曝光装置，其包括：从光源对被曝光体照射曝光用光的曝光光学系统；与该曝光光学系统相对配置的、载置并以一定速度输送所述被曝光体的输送设备，所述曝光装置将夹装在所述曝光光学系统的光路上的遮光板的开口部的像曝光在所述被曝光体上，其特征在于，包括：摄像设备，其以在所述输送设备的移动方向上的所述曝光光学系统的曝光位置的跟前侧为摄像位置，对所述被曝光体上所预先形成的基准图案进行摄像；控制设备，其检测出经所述摄像设备摄取的所述基准图案所预先设定的基准位置，以该基准位置为基准，对所述曝光光学系统的曝光用光的照射时间进行控制，将所述遮光板的开口部的像曝光在所述被曝光体的规定位置上。