[发明专利]玻璃基板容纳箱、玻璃基板调换装置、玻璃基板管理装置、玻璃基板流通方法、密封部件及使用该密封部件的密封构造无效
申请号: | 200580022343.7 | 申请日: | 2005-09-09 |
公开(公告)号: | CN1980841A | 公开(公告)日: | 2007-06-13 |
发明(设计)人: | 梅田俊哉;长田厚;川岛英显;吉田勉 | 申请(专利权)人: | 日本华而卡工业株式会社;伯东株式会社;维恩斯株式会社 |
主分类号: | B65D85/86 | 分类号: | B65D85/86;H01L21/027;F16J15/10;G03F1/14;H01L21/673 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 田军锋;王爱华 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 提供一种可防止玻璃基板的质量恶化的玻璃基板容纳箱、可自动将玻璃基板从玻璃基板容纳箱调换到其他箱体中的玻璃基板调换装置、分别管理玻璃基板的玻璃基板管理装置、将玻璃基板容纳在专用的玻璃基板容纳箱中进行交换的玻璃基板流通方法、提高密封效果的密封部件、及使用了该密封部件的密封构造。所述玻璃基板容纳箱具有:放置中间掩模R的底部件12;盖部件20,以覆盖放置在底部件12上的中间掩模R的方式与底部件12配合,在其与底部件12之间形成空间部;密封部件18,设置在底部件12或/及盖部件20上,在盖部件20与底部件12配合的状态下使空间部气密;和挂钩部件24,设置在盖部件20上,与底部件12勾挂,维持盖部件20与底部件12配合的状态。 | ||
搜索关键词: | 玻璃 容纳 调换 装置 管理 流通 方法 密封 部件 使用 构造 | ||
【主权项】:
1.一种用于容纳玻璃基板的玻璃基板容纳箱,其特征在于,包括:放置上述玻璃基板的底部件;盖部件,以覆盖在所述底部件上放置的所述玻璃基板的方式与所述底部件配合,并在其与所述底部件之间形成空间部;密封部件,被设置在所述底部件或/及所述盖部件上,在所述盖部件与所述底部件配合的状态下,使所述空间部气密;和挂钩部件,被设置在所述盖部件上,勾挂到所述底部件上,以维持所述盖部件与所述底部件配合的状态。
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