[发明专利]探测器附着工具无效
| 申请号： | 200580022394.X | 申请日： | 2005-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN101014864A | 公开（公告）日： | 2007-08-08 |
| 发明（设计）人： | 爱德华·T·劳伦特;达恩·米罗内斯库 | 申请（专利权）人： | SV探针私人有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 章社杲 |
| 地址： | 美国特*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于将预先形成的细探测器附着于基板以便与真空源一起使用的工具。该设备包括：主体部分；尖部，设置在主体部分的一端处；第一孔，从主体部分的第一端延伸到工作尖端；以及至少一个第二孔，从工作尖端的外侧部分延伸，并与第一孔相连通，其中，真空源与主体部分连接，从而为至少一个第二孔提供真空源所产生的真空。 | ||
| 搜索关键词： | 探测器 附着 工具 | ||
【主权项】：
1.一种用于将细探测器附着于基板以便与真空源一起使用的工具，所述设备包括：主体部分；尖部，设置在所述主体部分的一端处；第一孔，从所述主体部分的第一端延伸到所述尖部；以及至少一个第二孔，从所述尖部的外侧部分延伸并与所述第一孔相连通。
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