[发明专利]加速度传感器

摘要

加速度传感器1包括：具有平行于XY平面的XY基板面的基台2；以悬浮在基台2的XY基板面上的状态配置的框状的梁部4；通过支持部5a及5b、将梁部4以双支撑梁状支持在基台2上的梁部支持固定部；以悬浮在基台2的XY基板面上的状态配置的锤部7(7a、7b)；以及将锤部7(7a、7b)以悬臂梁状支持在梁部4上的连接部8。锤部7形成能够因框状的梁部4的弯曲变形而在X轴方向及Y轴方向及Z轴方向的三轴方向产生位移的结构。在梁部4设置根据因X轴方向的加速度所引起的锤部7的位移而引起的梁部4的弯曲变形、来检测加速度用的X轴方向加速度检测部；根据因Y轴方向的加速度所引起的锤部7的位移而引起的梁部4的弯曲变形的Y轴方向加速度检测部；以及根据因Z轴方向的加速度所引起的锤部7的位移而引起的梁部4的弯曲变形的Z轴方向加速度检测部。

主权项

1.一种加速度传感器，其特征在于，包括：具有平行于包含互相正交的X轴及Y轴及Z轴中的X轴及Y轴的XY平面的XY基板面的基台；以悬浮在该基台的XY基板面上的状态配置的框状的梁部；通过从该梁部沿X轴方向向梁部的两侧分别向外伸长形成的支持部，将梁部以双支撑梁状支持在基台上的梁部支持固定部；以悬浮在所述基台的XY基板面上的状态，从所述梁部的Y轴方向的两侧分别沿Y轴方向向外伸长形成的连接部；以及分别与各连接部的伸长前端部连接的锤部，所述锤部形成能够因框状梁部的变形而沿X轴方向及Y轴方向及Z轴方向的三轴方向位移的结构，在所述梁部设置根据因锤部的X轴方向位移而引起的梁部的弯曲变形来检测X轴方向的加速度用的X轴方向加速度检测部；根据因锤部的Y轴方向位移而引起的梁部的弯曲变形来检测Y轴方向的加速度用的Y轴方向加速度检测部；以及根据因锤部的Z轴方向位移而引起的梁部的弯曲变形来检测Z轴方向的加速度用的Z轴方向加速度检测部。