[发明专利]用于切削工具的高抗氧化性硬质涂层

摘要

一种独创性工件，其特征在于其表面的至少一部分具有一耐磨硬质涂层，该涂层包括下述组成：Al_{1－a－b－c－d}Cr_aX_bSi_cB_dZ，其中X是Nb、Mo、W或Ta中的至少一种元素；Z是N、C、CN、NO、CO、CNO中的一种元素或化合物；并且0.2≤a≤0.5；0.01≤b≤0.2；0≤c≤0.1；0≤d≤0.1。此外还记载了一种用于沉积这样的耐磨涂层的PVD工艺，其中将至少一个工件安装在真空涂覆系统中，所述系统在低压氩气氛围中操作，采用至少两种金属或金属合金靶，至少暂时加入一种反应性气体。

主权项

1.具有一种表面的工件，其中所述表面的至少一部分被包括下述组成涂层的耐磨硬质涂层涂覆：Al1-a-b-c-dCraXbSicBdZ，其中：X是Nb、Mo、W或Ta中的至少一种元素；Z是N、C、CN、NO、CO、CNO中的一种元素或化合物；并且0.2≤a≤0.5；0.01≤b≤0.2；0≤c≤0.1；0≤d≤0.1。