[发明专利]防反射膜

摘要

本发明提供一种防反射膜，其可以用作用于将光学部件小型化的具有高折射率的光学材料。由于层数少且层厚大，可以容易地控制该防反射膜的膜厚。该防反射膜可以以低的成本通过简单的制造成本制造。该防反射膜具有在可见区或其附近的波长范围内在任意设计的参考波长λ下折射率为1.90≤n_s≤2.10的基材上的以下三层：具有折射率为1.54≤n₁≤2.00且光学膜厚为0.465λ≤n₁d₁≤0.575λ的第一层；具有折射率为1.95≤n₂≤2.63且光学膜厚为0.490λ≤n₂d₂≤0.508λ的第二层；具有折射率为1.35≤n₃≤1.55且光学膜厚为0.245λ≤n₃d₃≤0.255λ的第三层。

主权项

1.一种防反射膜，其具有覆盖在基材上并且以由序数第一至第三表示的顺序而一层沉积在另一层上的三层组成层，其中在可见波段内和附近的波长范围内在任意设计的基准波长λ下，该基材和沉积在其上的组成层的每一层的折射率‘n’和光学膜厚(光谱测定的波长)‘nd’如下给出： 折射率‘n’ 光学膜厚度‘nd’基材 1.90≤ns≤2.10第一层 1.54≤n1≤2.00 0.465λ≤n1d1≤0.575λ第二层 1.95≤n2≤2.63 0.490λ≤n2d2≤0.508λ第三层 1.35≤n3≤1.55 0.245λ≤n3d3≤0.255λ。