[发明专利]用于限制充电效应的离子注入机电源有效
| 申请号： | 200580024703.7 | 申请日： | 2005-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN1989588A | 公开（公告）日： | 2007-06-27 |
| 发明（设计）人： | 弗兰克·托瑞格罗萨;吉勒斯·马修 | 申请（专利权）人： | 离子射线服务公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 李春晖 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 法国;FR |
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| 摘要： | 本发明涉及离子注入机的电源ALT，包括：设置于衬底支承台PPS和大地E之间的电发生器SOU，以及同样设置于衬底支承台和大地之间的分流支路中的电容器CDS。所述电容器CDS的电容低于5纳法。本发明的目的还在于提供一种包括所述电源的离子注入机。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 限制 充电 效应 离子 注入 机电 | ||
【主权项】：
1.离子注入机IMP的电源ALT、ALTi、ALTj，包括设置于衬底支承台PPS和大地E之间的电发生器SOU，以及同样设置于所述衬底支承台PPS和大地E之间的分流支路中的电容器CDS，其特征在于，所述电容器CDS的电容小于5纳法。
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