[发明专利]用于表征多孔材料的方法和系统有效
| 申请号： | 200580025831.3 | 申请日： | 2005-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN101001685A | 公开（公告）日： | 2007-07-18 |
| 发明（设计）人： | 朱建红;多雷尔·伊万·托玛 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | B01D53/22 | 分类号： | B01D53/22;C23C16/52;H01L21/31 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 李剑 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于诊断对多孔材料的处理的有效性的方法和系统。例如，多孔材料可包括多孔低介电常数材料。具体而言，该方法可以利用FTIR光谱仪来表征材料的多孔性，并评价密封材料中的孔的有效性。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 表征 多孔 材料 方法 系统 | ||
【主权项】：
1.一种表征材料的方法，包括：对多孔材料的一个或多个表面执行密封工艺；将所述多孔材料上的所述一个或多个表面暴露于处理剂，其中所述处理剂被配置为透过所述一个或多个表面并分散在所述多孔材料内；以及在所述暴露后监视所述处理剂从所述多孔材料的释放。
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