[发明专利]有助于增进气体与汽化材料接触的方法和装置无效
申请号: | 200580025920.8 | 申请日: | 2005-06-01 |
公开(公告)号: | CN1993172A | 公开(公告)日: | 2007-07-04 |
发明(设计)人: | 约翰·格雷格;斯科特·巴特尔;杰弗里·I·邦东;唐·奈托;拉维·K·拉克斯曼 | 申请(专利权)人: | 高级技术材料公司 |
主分类号: | B01F3/04 | 分类号: | B01F3/04 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 章社杲 |
地址: | 美国康*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 本发明涉及用于增进气体与汽化材料接触的装置和方法,其在一说明性装置中包括系统(100),该系统(100)将来自汽化器(110)的所需气体递送到连接至汽化器(110)的工艺设备(120)。汽化器(110)汽化(蒸发)材料、接收来自连接至汽化器(110)的气源(130)的气体、并有助于向工艺设备(120)递送由所接收气体与汽化材料接触所产生的气体。汽化器(110)支撑待汽化的材料以有助于增大待汽化材料的暴露表面积,从而有助于增进所接收气体与汽化材料的接触。通过增进所接收气体与汽化材料的接触,汽化器(110)可用于将所得到的气体以相对更高的流率递送到工艺设备(120)。 | ||
搜索关键词: | 有助于 增进 气体 汽化 材料 接触 方法 装置 | ||
【主权项】:
1.一种装置,包括:容器;以及有助于在所述容器中支撑具有增大了暴露表面积的材料以有助于增进气体与汽化材料的接触的结构,所述结构有助于支撑以与所述材料被置于所述结构时的相同形式的用于汽化的材料。
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