[发明专利]压电陶瓷的制造方法、压电元件的制造方法、压电元件无效
申请号: | 200580025996.0 | 申请日: | 2005-09-28 |
公开(公告)号: | CN1993301A | 公开(公告)日: | 2007-07-04 |
发明(设计)人: | 七尾胜;塚田岳夫;坂本英也 | 申请(专利权)人: | TDK株式会社 |
主分类号: | C04B35/49 | 分类号: | C04B35/49;H01L41/24;H01L41/22;H01L41/187 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人: | 陈建全 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 作为提供给烧成的粉末,使用比表面积为1.8-11.0m2/g的粉末。由此,可以改善烧结性,即使在1050℃以下、进而在1000℃以下进行烧成也可以获得烧结密度高且具有所希望的压电特性的压电陶瓷。压电陶瓷可以设定成以组成式(Pba1Aa2)[(Zn1/3Nb2/3)xTiyZrz]O3表示的主成分。其中,组成式中,A是选自Sr、Ba和Ca中的至少一种金属元素,以原子比计,0.96≤a1+a2≤1.03,0≤a2≤0.10,x+y+z=1,0.05≤x≤0.40,0.1≤y≤0.5,0.2≤z≤0.6。 | ||
搜索关键词: | 压电 陶瓷 制造 方法 元件 | ||
【主权项】:
1、压电陶瓷的制造方法,该压电陶瓷含有以组成式(Pba1Aa2)[(Zn1/3Nb2/3)xTiyZrz]O3表示的主成分,其特征在于,所述方法具备将比表面积为1.8-11.0m2/g的所述压电陶瓷用粉末进行成形的工序、和将得到的成形体在1050℃以下进行烧成而获得烧结体的工序,其中,所述组成式中,A是选自Sr、Ba和Ca中的至少一种金属元素,且以原子比计,0.96≤a1+a2≤1.03,0≤a2≤0.10,x+y+z=1,0.05≤x≤0.40,0.1≤y≤0.5,0.2≤z≤0.6。
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