[发明专利]基板检查装置无效
| 申请号： | 200580026495.4 | 申请日： | 2005-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN1993624A | 公开（公告）日： | 2007-07-04 |
| 发明（设计）人： | 久保胜英 | 申请（专利权）人： | 三菱电机株式会社 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 沈昭坤 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的基板检查装置在固定侧底座3及可动侧底座2的一个底座上安装基板检查用夹具7，而且在另一个底座上安装基板按压夹具5，并使前述可动侧底座2升降。在该基板检查装置中是下述这样构成，即在基板检查用夹具7与基板按压夹具5之间配置抽出结构的基板保持单元12，使该基板保持单元12跟随可动侧底座2升降。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 装置 | ||
【主权项】：
1.一种基板检查装置，上下具有夹具安装用的固定侧底座及可动侧底座，在其一个底座上安装具有多个检测头针脚及基板定位针脚的基板检查用夹具，而且在另一个底座上安装基板按压夹具，分别都能够装拆，使所述可动侧底座沿与所述固定侧底座的相对方向升降，其特征在于，具有：配置在所述固定侧底座与可动侧底座之间、可取出地放置检查对象的电路基板的抽出结构的基板保持单元；以及支持该基板保持单元在所述基板检查用夹具与基板按压夹具之间使其跟随所述可动侧底座升降、而且在所述可动侧底座的离开位置保持所述基板保持单元在从所述基板检查用夹具与基板按压夹具离开的中间位置的单元支持装置。
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