[发明专利]用于分解气体的反应器的制造方法无效

申请号：	200580026578.3	申请日：	2005-07-26
公开（公告）号：	CN1993494A	公开（公告）日：	2007-07-04
发明（设计）人：	A·米勒;T·西尔	申请（专利权）人：	联合太阳能硅有限及两合公司
主分类号：	C23C16/44	分类号：	C23C16/44;C23C16/24;C23C16/04;C30B25/00;C30B29/06;C01B33/027
代理公司：	北京市中咨律师事务所	代理人：	吴鹏;马江立
地址：	德国弗***	国省代码：	德国;DE
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摘要：	本发明涉及一种用于分解含硅气体(7)的反应器(12)的制造方法，该方法包括下列步骤：制造基本呈管状的反应器坯件(2)，该坯件包括内壁(3)和外壁(4)；至少在所述反应器坯件(2)的内壁(3)上涂覆隔离层(11)，该隔离层包括粉状隔离介质。设有隔离层(11)的反应器(12)简单而有效地保护内壁(3)以防止硅粉的沉积。所述隔离层(11)和沉积在其上的硅粉能够以机械的方式容易地去除，而不损坏所述内壁(3)。
搜索关键词：	用于分解气体反应器制造方法
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【主权项】：

1.一种用于分解含硅气体(7)的反应器(12)的制造方法，该方法包括以下步骤：a.提供具有内壁(3)和外壁(4)的、基本呈管状的反应器坯件(2)，以及b.至少在所述反应器坯件(2)的内壁(3)上涂覆含有粉状隔离介质的隔离层(11)。

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