[发明专利]聚光元件、固体摄像器件及其制造方法

摘要

本发明实现也对应于焦距较短的光学系统(入射角θ较大的光学系统)并且高灵敏度的固体摄像器件。各像素(尺寸□2.8mm)由梯度折射率透镜(1)、G用滤色片(2)、Al布线(3)、信号传送部(4)、平坦化层(5)、受光元件(Si光敏二极管)(6)、Si基板(7)构成。梯度折射率透镜的同心圆结构由折射率不同的4种材料TiO₂(n＝2.53)、SiN(n＝2.53)、SiO₂(n＝2.53)、空气(n＝1)构成，相邻的圆形透光膜的外周的半径差为100nm。并且，膜厚为0.4μm。

主权项

1、一种聚光元件，具备由折射率不同的多个透光膜构成的集合体，其特征在于，上述集合体中的一个透光膜具有与入射光的波长相同程度或比其短的宽度及预定厚度的同心形状；上述集合体中的其它透光膜以同心状填充不存在上述一个透光膜的空间的全部或一部分。