[发明专利]固体摄像元件用覆盖玻璃及其制造方法有效
申请号: | 200580026702.6 | 申请日: | 2005-10-12 |
公开(公告)号: | CN1993830A | 公开(公告)日: | 2007-07-04 |
发明(设计)人: | 中堀宏亮;大川大介;淀川正弘 | 申请(专利权)人: | 日本电气硝子株式会社 |
主分类号: | H01L27/14 | 分类号: | H01L27/14;C03C3/091;C03C3/093 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 李贵亮 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明的固体摄像元件用覆盖玻璃10在无机氧化物玻璃制的平板玻璃的板厚方向的表里两面分别具有第一透光面11a及第二透光面11b,且在第一透光面11a上形成有薄膜20,并且在位于平板玻璃的第一透光面11a上的外缘部的薄膜20的端缘22形成有凹凸,且该凹凸从与第一透光面11a平行的面上的最大凹陷位置到最大突出位置的突出尺寸L在0.5μm至50μm范围内。另外,本发明的制造方法具有在耐热性容器内熔化玻璃原料混合物的工序、将获得的熔融玻璃成形为板玻璃的工序、在板玻璃上形成薄膜的工序以及将带有薄膜的板玻璃分割为小片的玻璃的工序。 | ||
搜索关键词: | 固体 摄像 元件 覆盖 玻璃 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种固体摄像元件用覆盖玻璃,其在无机氧化物玻璃制的平板玻璃的板厚方向的表里两面分别具有第一透光面及第二透光面,且在上述第一透光面上形成有薄膜,其特征在于,在位于上述平板玻璃的第一透光面上的外缘部的上述薄膜的端缘形成有凹凸,并且该凹凸从与上述第一透光面平行的面上的最大凹陷位置到最大突出位置的突出尺寸在0.5μm至50μm的范围内。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
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H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的