[发明专利]药液供给系统

摘要

本发明提供一种防止在工作时泵的发热、可以实现使药液从前端喷嘴滴下的将排出泵小型化的药液供给系统。通过将压缩空气供应到抗蚀剂瓶(15)的上层空间(15a)而将成为正压的药液加压输送到排出泵(11)的泵室内，从而将抗蚀剂(R)填充到泵室内。因此，无需像现有技术那样采用使用弹簧等将排出泵(11)的挠性膜向工作室侧驱动来执行抗蚀剂(R)的吸入动作的结构。这样，排除了电动机，当然不存在对半导体晶片(47)带来热损害的顾虑，可以使排出泵(11)自身更加小型化。

主权项

1.药液供给系统，其特征在于，包括：排出泵，利用容积可变部件将填充药液的泵室和工作室分隔，通过向所述工作室内供应工作气体来驱动所述容积可变部件以缩小所述泵室的容积，根据所述容积的变化排出所述药液；开闭型排出侧截流阀，设于所述排出泵与前端喷嘴之间；切换装置，切换成将设定压力的所述工作气体供应到所述工作室的第一状态和将所述工作室向大气开放的第二状态中的任一状态；药液供给装置，使药液成为正压，并将其供应到所述排出泵；开闭型供给侧截流阀，设于所述排出泵与所述药液供给装置之间；控制装置，控制所述两截流阀和所述切换装置，在从所述排出泵排出药液时将所述供给侧截流阀切换到关闭位置，将所述排出侧截流阀切换到打开位置，且将所述切换装置切换到第一状态，在将药液填充到所述排出泵时将所述供给侧截流阀切换到打开位置，将所述排出侧截流阀切换到关闭位置，且将所述切换装置切换到第二状态，使所述药液供给装置开始供给药液。