[发明专利]氮化物半导体发光器件及其制造方法有效
申请号: | 200580026864.X | 申请日: | 2005-07-08 |
公开(公告)号: | CN101002340A | 公开(公告)日: | 2007-07-18 |
发明(设计)人: | 尹浩相 | 申请(专利权)人: | LG伊诺特有限公司 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人: | 顾晋伟;刘继富 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 本发明提供一种制造氮化物半导体发光器件的方法,所述方法包括:提供具有GaN层的氮化物半导体发光器件,使氮化物半导体发光器件与氢分离金属接触,使氮化物半导体发光器件和氢分离金属振动,从氮化物半导体发光器件的GaN层除去氢并且从氮化物半导体发光器件分离氢分离金属。 | ||
搜索关键词: | 氮化物 半导体 发光 器件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种制造氮化物半导体发光器件的方法,所述方法包括:提供具有GaN层的氮化物半导体发光器件;使所述氮化物半导体发光器件与氢分离金属接触;使氮化物半导体发光器件和氢分离金属振动;从氮化物半导体发光器件的GaN层除去氢并且从氮化物半导体发光器件分离氢分离金属。
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