[发明专利]基板处理装置、使用状况确认方法、以及不当使用防止方法

摘要

能确认基板处理装置是否被不当使用，若有不当使用的事实时，能防止该不当使用。授权档案LF，是将授权资讯L予以加密的档案，授权资讯L包含对基板处理装置的特定使用者的使用条件。整合性确认程式P2，是确认以解密程式P1解密后的授权档案LF的内容，与从基板处理装置所得的装置资讯DI、网络资讯NI、及现在时刻CT的整合性，来确认有无不当使用的事实。若有不当使用时，根据整合性确认程式P2的资讯，由控制程式P3停止基板处理装置的动作，直到实施既定处置为止。

主权项

1.一种基板处理装置，用以处理基板，其特征在于，具备：授权资讯记忆机构，是储存作为对该基板处理装置的特定使用者的使用条件(含该基板处理装置的停止时间)的授权资讯；以及确认机构，是根据该授权资讯记忆机构中所储存的该授权资讯与来自计时机构的计时资讯，来确认该基板处理装置的使用状况；该确认机构，是根据该授权资讯与来自该计时机构的计时资讯，依据该基板处理装置的停止时间是否有超过该停止期间，来确认该基板处理装置的使用状况。