[发明专利]负带电用电子照相感光体的制造方法、负带电用电子照相感光体、及使用该感光体的电子照相装置

摘要

本发明提供不降低减少图像缺陷的效果就可提高第1层与第2层的紧密接合性且可降低整体成本的负带电用电子照相感光体的制造方法、由该制造方法制造的负带电用电子照相感光体、及电子照相装置。其特征在于，将层叠了第1层并除去了至少突起的头顶部的基体设置到成膜炉内，用由至少包含周期表第13族元素的气体和从氢、氩、氦中选择的至少一种构成的稀释气体对上述第1层表面进行等离子处理，使由非单晶材料构成的层作为第2层层叠到上述第1层上。

主权项

1.一种负带电用电子照相感光体的制造方法，该负带电用电子照相感光体包含由非单晶材料构成的层；其特征在于，该制造方法包括如下工序；作为第1步骤，在与排气部件连接并且具有原料气体供给部件的、可真空气密的成膜炉内设置具有导电性表面的圆筒状基体，由高频电力使原料气体分解，在该基体上沉积至少由非单晶材料构成的光电导层作为第1层；作为第2步骤，暂时从成膜炉中取出层叠了上述第1层的基体；作为第3步骤，对在上述第1步骤中层叠的上述第1层表面的突起至少除去其头顶部；作为第4步骤，在具有排气部件和原料气体供给部件的可真空气密的成膜炉内设置结束了上述第3步骤工序的基体，用由包含至少一种周期表第13族元素的气体和从氢、氩、氦中选择的至少一种构成的稀释气体对上述第1层表面进行等离子处理；作为第5步骤，由高频电力至少将原料气体分解，在上述第1层上层叠由非单晶材料构成的层作为第2层。