[发明专利]二氧化硅的化学辅助研磨有效
申请号: | 200580027863.7 | 申请日: | 2005-06-15 |
公开(公告)号: | CN101006009A | 公开(公告)日: | 2007-07-25 |
发明(设计)人: | D·M·查普曼 | 申请(专利权)人: | 格雷斯公司 |
主分类号: | C01B33/141 | 分类号: | C01B33/141 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 吕彩霞;李连涛 |
地址: | 美国马*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 本发明涉及多孔的表面改性二氧化硅颗粒的分散体,包括液体和多孔颗粒;其中由关系式(I)确定的分散体中颗粒的最大占据体积分数(Φmax)为至少约0.55,其中Φ为液体中固体的占据体积分数,Φmax为当粘度接近无穷大时占据体积分数的渐近极限(最大值),b为固有粘度,η0为液体的粘度,η为分散体的粘度。 | ||
搜索关键词: | 二氧化硅 化学 辅助 研磨 | ||
【主权项】:
1.一种多孔的表面改性阴离子二氧化硅颗粒的分散体,包括:(a)液体,和(b)表面改性阴离子二氧化硅颗粒,其中由以下关系式确定的所述液体中所述颗粒的最大占据体积分数(Φmax)为至少约0.55: 其中Φ为液体中固体的占据体积分数,Φmax为当粘度接近无穷大时占据体积分数的渐近极限,b为固有粘度,η0为液体的粘度,η为分散体的粘度。
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