[发明专利]涂覆的石英玻璃组件和制造所述组件的方法有效
| 申请号： | 200580028210.0 | 申请日： | 2005-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN101023040A | 公开（公告）日： | 2007-08-22 |
| 发明（设计）人： | U·基尔斯特;W·斯坦格;J·韦伯;W·沃德克;M·特洛默;J·贝克 | 申请（专利权）人： | 赫罗伊斯石英玻璃股份有限两合公司 |
| 主分类号： | C03C17/02 | 分类号： | C03C17/02;C03B19/02;C03C17/25 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 温宏艳;林森 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及制造由石英玻璃构成的涂覆部件的方法，根据所述方法部件表面至少部分地配备有与基体的石英玻璃不同的SiO2玻璃组合物。本发明的目标是提供一种用SiO2玻璃组合物以任意厚度涂覆石英玻璃组件的新方法，其可以以低成本可再现方式制造并根据本发明的具体实施方案可以实现各种功能。为此目的，制造含有SiO2微粒的无定形浆体并施加到基体表面，形成浆体层并干燥和玻璃化，形成SiO2玻璃组合物。以这种方式涂覆的石英玻璃组件特别是可以有利地用于制造半导体。 | ||
| 搜索关键词： | 石英玻璃 组件 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种通过用SiO2玻璃物质(31，42)至少部分覆盖石英玻璃基体(30，41)的表面制造涂覆的石英玻璃组件的方法，其中SiO2玻璃物质(31，42)的光学、物理或化学性质与基体(30，41)石英玻璃不同，其特征在于制造含有无定形SiO2微粒的浆体并施加到基体(30，41)的表面形成浆体层，干燥该浆体层并随后玻璃化形成SiO2玻璃物质(31，42)。
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