[发明专利]基于纤维复合材料的MEMS光扫描器有效
| 申请号： | 200580028499.6 | 申请日： | 2005-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN101061411A | 公开（公告）日： | 2007-10-24 |
| 发明（设计）人： | S·德萨尔 | 申请（专利权）人： | 康乃尔研究基金会有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;G02B26/10;B81B3/00 |
| 代理公司： | 北京北翔知识产权代理有限公司 | 代理人： | 郑建晖;杨勇 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 可以不使用基质材料而用纤维制造MEMS。在只在基片边缘连接纤维的地方可构造装置(例如悬臂、桥)。可以通过调整具有弱连接的多条纤维(如基部、末端、中间部位等)之间的连接来控制运动。驱动机构包括基部力(磁力、压电力、静电力)或尖端力(磁力)。可在悬臂梁的自由端形成反射镜来形成光扫描器。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 纤维 复合材料 mems 扫描器 | ||
【主权项】：
1.一种微机电装置扫描器，其包括：基片；在纤维阵列的夹紧端由基片支撑的纤维阵列；以及连接到纤维阵列的第二自由端的反射镜。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于康乃尔研究基金会有限公司，未经康乃尔研究基金会有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200580028499.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：斜拉桥拉索索力自动监测方法及装置
- 下一篇：滑辊筛
