[发明专利]涂布膜用干燥炉

摘要

本发明涉及一种用于对玻璃基板上的涂布膜进行干燥的干燥炉，其中对涂布膜进行加热和干燥，同时玻璃基板(6)的下侧由恒定移动的输送装置(10，18)进行支承，以解决在长期支承后使玻璃基板的下侧会有支承的痕迹而引起玻璃基板的质量下降的问题。采用这种构造，销(11，12，21)的痕迹几乎不会留在玻璃基板上。

主权项

1.一种涂布膜用干燥炉，所述干燥炉对上表面设有涂布膜的基板进行加热并使所述涂布膜干燥，所述干燥炉包括：形成于侧面上的所述基板的运送口；对所述基板的涂布膜进行加热和干燥的加热装置；以及输送装置，所述输送装置紧靠所述基板的下表面，在对所述涂布膜进行加热和干燥期间使靠着所述基板的邻接位置移动。