[发明专利]利用多个离散模具形成微结构的方法无效
申请号: | 200580028740.5 | 申请日: | 2005-08-15 |
公开(公告)号: | CN101010771A | 公开(公告)日: | 2007-08-01 |
发明(设计)人: | 托马斯·R·科里甘;约翰·R·姆利纳尔 | 申请(专利权)人: | 3M创新有限公司 |
主分类号: | H01J9/24 | 分类号: | H01J9/24;B29C33/30;B29C59/02 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 | 代理人: | 顾红霞;张天舒 |
地址: | 美国明*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 本发明公开一种采用转移装置、至少两个离散模具(292)以及图案化基板(290)制造微结构(例如阻隔肋)制品的方法。根据存在于基板上的基准定位该模具。转移已定位的模具,以使模具的微结构表面接触可固化组合物,并且基板的图案与模具的微结构表面对准。 | ||
搜索关键词: | 利用 离散 模具 形成 微结构 方法 | ||
【主权项】:
1.一种制造微结构制品的方法,包括:提供至少两个离散的模具,每个模具具有微结构表面和相对表面,其中每个模具都是可独立定位的;定位图案化基板上的基准;根据所述基准定位每个模具;将可固化组合物施加到所述基板上;转移每个已定位的模具,以使所述模具的微结构表面接触所述可固化组合物,并且所述基板的图案与所述模具的微结构表面对准;选择性地去除所述可固化组合物中的未模制部分;固化所述可固化组合物;以及去除所述模具。
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