[发明专利]衬底和形成用于流体喷射装置的衬底的方法无效
| 申请号： | 200580029313.9 | 申请日： | 2005-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN101010200A | 公开（公告）日： | 2007-08-01 |
| 发明（设计）人： | M·布雷斯恰尼;A·L·莫拉尔斯帕甘;M·J·罗德里格兹 | 申请（专利权）人： | 惠普开发有限公司 |
| 主分类号： | B41J2/16 | 分类号： | B41J2/16;B41J2/14 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 温大鹏;黄力行 |
| 地址： | 美国德*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种穿过具有第一侧(162)和与第一侧相反的第二侧(164)的衬底(160)形成开口(150)的方法包括从第二侧朝着第一侧将开口的第一部分(154)磨蚀加工到衬底内，并且从第一侧朝着第二侧将开口的第二部分(156)磨蚀加工到衬底内。第一或第二部分之一的磨蚀加工包括将第一或第二部分与第一或第二部分中的另一个连通以便形成穿过衬底的开口。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 形成 用于 流体 喷射 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种形成用于流体喷射装置的衬底(160)的方法，该衬底具有第一侧(162)和与第一侧相反的第二侧(164)，该方法包括：以第一腐蚀速度，随后以小于第一腐蚀速度的第二腐蚀速度，从第二侧朝着第一侧磨蚀加工到衬底内，包括形成衬底内的流体通道(150)的第一部分(154)；以及从第一侧朝着第二侧磨蚀加工到衬底内，包括形成衬底内的流体通道的第二部分(156)；其中形成第一部分或第二部分之一包括将流体通道的第一部分和流体通道的第二部分之一与流体通道的第一部分和流体通道的第二部分中的另一个连通。
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