[发明专利]使用微柱的便携式电子显微镜有效
| 申请号： | 200580029367.5 | 申请日： | 2005-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN101010775A | 公开（公告）日： | 2007-08-01 |
| 发明（设计）人： | 金浩燮;金秉辰 | 申请（专利权）人： | 电子线技术院株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/26 | 分类号： | H01J37/26 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李辉;吕俊刚 |
| 地址： | 韩国忠*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供了一种使用微柱的便携式电子显微镜。该便携式电子显微镜包括：微柱；低真空泵；高真空泵；超高真空泵；第一腔，其用于容纳和固定所述微柱和待测样本，并通过上述多个泵形成真空；控制器；和用于容纳上述多个泵、所述腔和所述控制器的壳体。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 便携式 电子显微镜 | ||
【主权项】：
1、一种便携式电子显微镜，该便携式电子显微镜包括：微柱；低真空泵；高真空泵；超高真空泵；第一腔，其用于容纳和固定所述微柱和待测样本，并通过上述多个泵形成真空；控制器；和壳体，其用于容纳上述多个泵、所述腔和所述控制器，其中所述便携式电子显微镜的尺寸小于400mm×500mm×400mm，从而能够移动。
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